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真空系统其实就是真空机组的一个类似的称呼,真空机组是由几种真空泵组合而成的一套闭环真空设备,它不见得有一些诸如散热器大发手机体育平台,冷凝器等等设备存在。而一般能称为真空系统的肯定是各种零部件齐全。
而压力参数在真空系统中随处可见,指的是气体对于固体或者液体表面的垂直作用力大发手机体育平台,且在真空系统中它是与压强同义的。
比较常见的压力参数自然是极限压力:极限压力是真空系统中真空泵性能的主要参数之一。通俗的理解就是真空系统抽气过程中,经过长时间抽气大发手机体育平台,当真空泵或真空机组的抽速为0或者说真空室的压力参数一直维持在某一定值时,那就是真空泵或者真空机组的极限压力了大发手机体育平台。
其次是基础压力:在某些工艺领域或者技术人员口中,基础压力也叫本底压力大发手机体育平台,指的是生产工艺开始实施时真空室的压力。例如磁控溅射应用可能需要将本地压力抽至10-4Pa,而溅射过程的工作压力可能在1Pa左右。
工作压力:工作压力就是企业生产过程中,为保证工艺实施及产品质量所必需的压力参数大发手机体育平台。真空设备选型过程中,为满足工艺要求,设备的极限压力都会低于工作压力一个数量级左右大发手机体育平台。
残余压力:残余压力某些时候其实和极限压力一样,是指经过真空泵或者真空机组一段时间的抽气作业后大发手机体育平台,真空室中残存气体的全压。如果此时的真空系统已经没有抽速了,那残余压力就是真空泵或者真空机组的极限压力。